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影響渦流測(cè)厚儀測(cè)量精度的因素

        根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T4957-2003《非磁性金屬基材上非導(dǎo)電涂層厚度測(cè)量的渦流法》，以下因素會(huì)影響測(cè)量精度。
         1. 覆蓋層厚度
        測(cè)量不確定度是渦流厚度測(cè)量方法所固有的。對(duì)于較薄的覆蓋層（例如，小于 25 μm），測(cè)量不確定度是一個(gè)恒定值，與覆蓋層厚度無(wú)關(guān)，每次測(cè)量至少為 0.5 μm。對(duì)于儀器，這種不確定性為 0.5 μm 至 1 μm。對(duì)于厚度大于 25 μm 的較厚覆蓋層的厚度的一定比例。對(duì)于該儀器，這種不確定性是覆蓋層厚度的 2%。
        對(duì)于厚度小于或等于5μm的覆蓋層，厚度值應(yīng)為多次測(cè)量的平均值。
        對(duì)于小于3μm的涂層厚度，不能準(zhǔn)確測(cè)量膜厚值。
         2、母材的導(dǎo)電性
        渦流測(cè)厚法的測(cè)量值會(huì)受到母材導(dǎo)電率的影響。金屬的導(dǎo)電性與其材料成分和熱處理有關(guān)。電導(dǎo)率對(duì)測(cè)量的影響因儀器的制造商和型號(hào)而異。本儀器的測(cè)量幾乎不受jian金屬電導(dǎo)率的影響。
         3、母材厚度
        每臺(tái)儀器都有一個(gè)臨界的基體金屬厚度，超過(guò)這個(gè)厚度，測(cè)量值將不受基體厚度增加的影響。這個(gè)臨界厚度值取決于儀器探頭系統(tǒng)的工作頻率和基底金屬的導(dǎo)電性。本儀器的臨界厚度值約為0.3~0.4 mm。
        將基底金屬厚度低于臨界厚度的樣品與相同材料和厚度的未涂層材料疊加是不可靠的。
         4.邊緣效果
        渦流測(cè)厚儀對(duì)樣品表面的不連續(xù)性很敏感。太靠近樣品邊緣的測(cè)量結(jié)果不可靠。如果必須在小區(qū)域或窄條上進(jìn)行測(cè)量，可以使用與基板形狀相同的無(wú)涂層材料重新校準(zhǔn)儀器。對(duì)于本儀器，當(dāng)測(cè)量面積小于 150 mm2 或樣品寬度小于 12 mm 時(shí)，在相應(yīng)的未涂層材料上重新校準(zhǔn)儀器。
         5.曲率
        試樣曲率的變化會(huì)影響測(cè)量。試樣曲率越小，對(duì)測(cè)量值的影響越大。對(duì)于本儀器，當(dāng)測(cè)量直徑小于 50 毫米的樣品時(shí)，儀器應(yīng)在相同直徑的無(wú)涂層材料上重新校準(zhǔn)。
         6、表面粗糙度
        母材和覆蓋層的表面粗糙度會(huì)影響測(cè)量值。可以通過(guò)對(duì)不同位置的多個(gè)測(cè)量值進(jìn)行平均來(lái)減少這種影響。如果基體金屬表面粗糙，還應(yīng)在涂裝前對(duì)相應(yīng)金屬材料上的多處校準(zhǔn)儀零位。
         7、探頭與樣品表面緊密接觸
        測(cè)厚儀的探頭必須與樣品表面緊密接觸。樣品表面的灰塵和污垢會(huì)影響測(cè)量值。因此，在測(cè)量過(guò)程中應(yīng)保持探頭jian端和樣品表面清潔。
        當(dāng)疊加兩個(gè)或多個(gè)已知厚度值的校準(zhǔn)箔時(shí)，測(cè)量值大于校準(zhǔn)箔厚度的總和。箔片越厚越硬，這種偏差就越大。原因是箔片的疊加影響了探針與箔片和箔片的緊密接觸。
         8、探頭壓力
        在測(cè)量過(guò)程中，施加在探頭上的壓力會(huì)影響測(cè)量值。儀器在探頭內(nèi)裝有恒壓彈簧，可保證每次測(cè)量時(shí)探頭對(duì)樣品施加的壓力保持不變。
         9. 探頭的垂直度
        溫度變化會(huì)影響探頭參數(shù)。因此，儀器應(yīng)在與操作環(huán)境大致相同的溫度下進(jìn)行校準(zhǔn)。儀器進(jìn)行了良好的溫度補(bǔ)償，溫度變化對(duì)測(cè)量值影響不大。